靜電是凈化車間難控制的因素之一，靜電可以使半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中的廢品增多、降低電子設(shè)備的可靠性。因此，在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)中，所有的制造階段都需要防止靜電對器件的作用。

　　消除靜電的方法很多，對有防靜電環(huán)境要求的凈化車間工程，常用以下幾種方法：

　　1、選用合適的材料：

　　凈化車間裝修要采用不易產(chǎn)生靜電或產(chǎn)生靜電后能較快泄漏的材料，多種材料共同使用時(shí)，應(yīng)選用在電序列表中位置接近的材料。所有的材料可歸入電的導(dǎo)體或電的絕緣體。導(dǎo)體是電流能通過的材料，絕緣體是電流不能通過的材料。

　　2、接地：

　　接地是帶電導(dǎo)體消除靜電zui為普遍、經(jīng)濟(jì)、簡便、可靠的方法。

　　(1)凈化車間內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施。

　　(2)電子工業(yè)潔凈室的圍護(hù)結(jié)構(gòu)(吊頂、地面、墻、柱)應(yīng)采用防靜電裝飾，可以抑制塵埃的帶電吸附。

　　(3)工藝設(shè)備接地。

　　(4)辦公設(shè)備應(yīng)采用能防靜電的材料制成并接地。

　　(5)工作人員應(yīng)穿戴防靜電的無塵衣、鞋、帽、手套、腕帶等。

　　3、.中和：

　　將帶電體(靜電)周圍的空氣離子化后，帶電的離子在電磁場作用下發(fā)生遷移，帶電體吸引異性電荷達(dá)到中和而消除靜電。靜電消除器是一種能產(chǎn)生電子和離子的裝置，它產(chǎn)生的電子、離子與帶電體上的異性電荷中和，從而消除靜電。絕緣材料表面所帶的靜電荷、空氣中的靜電荷必須用靜電中和的辦法來消除。

　　4、濕度控制：

　　在眾多消除靜電的方法中，室內(nèi)濕度控制也被認(rèn)為可以用來減少和消除凈化車間靜電。通過在環(huán)境中保持高的相對濕度，在該區(qū)域內(nèi)物體的表面將形成薄薄的濕氣層，利用這一薄層來提供導(dǎo)電的通道，使得可能產(chǎn)生的電荷流過該濕氣層耗散靜電荷。另外，薄薄的濕氣層可以增加物體表面的潤滑性，摩擦生電也將減少。一般來說，濕度越低，產(chǎn)生的電荷越多。但是資料表明，甚至在濕度高時(shí)也會(huì)產(chǎn)生顯著的靜電電壓，但是，在高濕度環(huán)境中，生產(chǎn)人員可能會(huì)感覺十分不舒服，零部件可能生銹，并產(chǎn)生可焊性問題。同時(shí)，企圖用濕度控制來消除靜電的方法顯然是高耗費(fèi)的，尤其在干燥地區(qū)更是如此。